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MM60是最新型FPD检查显微镜,专为LCD行业TFT玻璃COG导电粒子检查以及6英寸及以下的集成电路硅片在线检查和实验室分析设计.具有成像清晰,工作距离长,使用便利,应用软件丰富的特点.是一款性价比非常优秀的半导体及微电子工业与科研用显微镜. 其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
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型号
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MM60
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光学系统
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无限远校正光学系统
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显微镜镜体
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照明装置
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反射/透射光转换
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内装3.3W 白光长寿命LED光源,光亮可连续调节
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调焦
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行程为:35mm
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同轴粗微调,微调最小刻度1微米,
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含三级调焦机构:微调,粗调及张力调节环.；
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观察筒
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宽视野(视野数为22)
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正置式 三目镜筒 倾角30° 带Ｃ型数码接口
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进口观察筒.普通视野(视野数为20)
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日本OLYMPUS原装三目观察镜筒 倾角30° 带Ｃ型数码接口
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物镜转盘
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明视场用
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内置5孔明视场物镜转盘
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载物台
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带左(右)手同轴驱动旋转的载物台:100(x)X105(y)mm
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物镜
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LWDPLAN 5X
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长工作距离平场物镜:数值孔径(N.A) 0.14, 工作距离:20.5mm
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LWDPLAN 10X
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长工作距离平场物镜数:值孔径(N.A) 0.25, 工作距离:16mm
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LWDPLAN 20X
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长工作距离平场物镜数:值孔径(N.A) 0.40, 工作距离:7.8mm
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LWDPLAN 50X
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长工作距离平场物镜数:值孔径(N.A) 0.55, 工作距离:7.9mm
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LWDPLAN 100X
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长工作距离平场物镜:数值孔径(N.A) 0.80, 工作距离:3mm
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可选物镜
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MPLN 5X
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日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.10, 工作距离:20mm
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MPLN 10X
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日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.25, 工作距离:10.6mm
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MPLN 20X
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日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.4, 工作距离:1.3mm
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MPLN 50X
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日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.75, 工作距离:0.38mm
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MPLN 100X
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日本OLYMPUS平场消色差物镜: 数值孔径(N.A) 0.9, 工作距离:0.21mm
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目镜
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WF10X/22
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目镜: 10X,视场直径(F.N) 22mm,瞳距和屈光度可调,
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WHB 10X/20
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日本OLYMPUS平场目镜:10X,视场直径(F.N) 20mm
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微分干涉系统
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Polarizer
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起偏器
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Analyzer
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可360旋转检偏器
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U-DICR
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日本OLYMPUS原装微分干涉模块
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光阑
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带视场光阑(FS)和孔径光阑(AS);可调中心
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观察方法
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各个倍数下均可以进行明场，简易偏光观察,微分干涉观察,各倍率成象清晰度好.
可作透射与反射照明观察
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020-82086196
