OLYMPUS MX51显微镜

产品介绍

MX51 工业检测显微镜
产品特点:
• 紧凑的设计实现最小的占地空间
• 镜臂部分和镜体分开, 使高的样品观察成为可能
• 标配158×158mm手动移动载物台(最大可用于200mm晶圆检查)
• 选配长工作距离物镜, 极大方便磁头检查
• 采用防静电设计，极大方便磁头检查
• 提高系统灵活性和操作舒适性，满足SEMI S2/S8标准

MX51详细规格:

光学系统		UIS2光学系统（无限远校正光学系统）
显微镜镜体		Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32 mm（从焦面上行2 mm和下行30 mm）行程相同：15 mm（配合透射光照明） Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm（1个单位1 µm）调焦机构张力可调有调焦上限位机构
照明系统		BX-KMA 明视场照明器	BX-RLA2 明视场/暗视场照明器		BX-URA2 万能照明器
	观察方式转换	----	明视场-暗视场滑块转换法		分光镜组（最多6个）换镜旋座
	可适用观测模式	①明视场法 ②诺曼尔斯基微分干涉衬比法 ③偏振光照明法	①明视场法 ②暗视场法 ③诺曼尔斯基微分干涉衬比法 ④偏振光照明法 ⑤红外光		①明视场法 ②暗视场法 ③诺曼尔斯基微分干涉衬比法 ④偏振光照明法 ⑤荧光照明法
光源		6V30W瓦卤素灯灯座: U-LS30-4 变压器: TL-4	12V100W瓦卤素灯灯座: U-LH100L-3 电源整合在MX51显微镜中		水银灯: U-LH100HGAPO 需配备BH2-RFL-T3外接电源
透射照明		明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件（MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用）
电源供应部件		----	额定电压: 100-120/220-240V1.8A/0.8A 50/60Hz 连续式亮度调节盘
观察镜筒		U-BI30-2 宽场双目镜筒，U-TR30-2 宽场三目镜筒，U-ETR3 宽场正像三目镜筒(F.N. 22) U-SWTR 超宽场三目镜筒，MX-SWETTR 超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5)
物镜换镜转盘		U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (带有微粉干涉衬比法棱镜滑槽)
载物台		U-SIC4R2/SIC4L2同轴右/左手控制4英寸×4英寸载物台驱动方法:齿轮/齿条 Y 轴止动器: 手柄调节		MX-SIC6R2同轴右/左手控制6英寸×6英寸载物台驱动方法:传动带式行程:158（X轴）×158（Y轴）mm 联动方法: 离合（内置离合开关手柄）托架尺寸: 200×200mm透过观察范围: 100×100mm)
体积与重量		体积: 约430（宽）×591（长）×495（高）mm；重量：约26 kg（显微镜镜体约重11 kg）

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